Propiedades dieléctricas a altas temperaturas de películas delgadas de óxido de aluminio obtenido electroquímicamente - Castillo Chamorro, Jose Humberto; Castrillón Arango, Jhon Alejandro; Herrera Martinez, Walter Oswaldo (2021)
Spa: Reportamos la respuesta dieléctrica del óxido de aluminio Al2O3 obtenido electroquímicamente mediante procesos de pulido mecánico, electropulido, procesos de primer anodizado, decapado y segundo anodizado a diferentes tiempos de ataque químico. La respuesta fue estudiada mediante espectroscopia de impedancia compleja, en el intervalo de frecuencias de 50 Hz a 5 MHz, desde temperatura ambiente hasta 780 K en una atmósfera inerte de nitrógeno. Durante la operación de los diferentes procesos de electropulido, primer anodizado, decapado y segundo anodizado con diferentes tiempos en el ataque químico, ocurren transformaciones en la formación del óxido de aluminio, que cambia sus propiedades eléctricas, por consiguiente, a través de estos cambios puede obtenerse información del proceso de segundo anodizado cuando se realiza a diferentes tiempos. Los cambios que se producen durante el proceso de segundo anodizado a diferentes tiempos varían la impedancia del recubrimiento de óxido. Estos cambios, se aprecian muy bien a través de las medidas de impedancia utilizando los diagramas de Nyquist, los cuales sirven para evaluar la calidad de la película de óxido de aluminio obtenida. Se encuentra mediante ajuste con circuitos equivalentes que los valores de las resistencias óhmicas y capacitivas, dependen fuertemente de las condiciones de oxidación, y del espesor del recubrimiento. La asimetría de las curvas de impedancia se estudia mediante el valor del parámetro P del elemento de fase constante, y se asocia a un proceso de relajación debido a la orientación de dipolos inducidos al aplicar el campo eléctrico externo. Los valores del parámetro P, revelan que este proceso es altamente correlacionado y muy alejado del comportamiento ideal de Debye.