Producción de Películas Delgadas de TiO2 utilizando la Técnica Magnetrón Sputtering R.F.

Spa: Se depositaron películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO2) sobre obleas de Silicio tipo p (100) y discos de acero inoxidable 304 mediante la técnica de Magnetrón Sputtering R.F. Para el proceso de deposición se utilizó un blanco de TiO2 de 99.9% de pureza y Argón 99.999% puro, el tiempo de...

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Bibliographic Details

Main Authors:	Angarita, Guillermo, Arroyave Franco, Mauricio, Montoya, Isabel, Palacio, Claudia
Format:	Documento de Conferencia
Language:	spa
Published:	2021
Online Access:	http://repositorio.uptc.edu.co/handle/001/7209