Producción de Películas Delgadas de TiO2 utilizando la Técnica Magnetrón Sputtering R.F.
Spa: Se depositaron películas delgadas de Dióxido de Titanio (TiO2) sobre obleas de Silicio tipo p (100) y discos de acero inoxidable 304 mediante la técnica de Magnetrón Sputtering R.F. Para el proceso de deposición se utilizó un blanco de TiO2 de 99.9% de pureza y Argón 99.999% puro, el tiempo de...
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Documento de Conferencia |
| Language: | spa |
| Published: |
2021
|
| Online Access: | http://repositorio.uptc.edu.co/handle/001/7209 |
